2020年12月16日，集成电路材料产业技术创新联盟（以下简称“ICMTIA”）标准委员会在宁波举行了团体标准审查会。

会议由ICMTIA标准委员会主任刘兵主持，审查组专家及部分相关单位的领导和工程技术人员出席了本次会议。会议审查了由ICMTIA归口，由宁波南大光电材料有限公司起草的《集成电路用ArF干式光刻胶》、《集成电路用ArF浸没式光刻胶》《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》和由徐州博康信息化学品有限公司起草的《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：液体甲基丙烯酸酯类》、《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：固体甲基丙烯酸酯类》五项团体标准送审稿。

审查组专家听取了标准编制组的汇报后，审阅了相关资料，并对标准送审稿逐项逐条进行了严格细致审查和讨论，提出许多可行性的修改意见。

整个审查过程严格遵循ICMTIA标准委员会《标准制定程序》规定，最终审查组投票通过了《集成电路用ArF干式光刻胶》、《集成电路用ArF浸没式光刻胶》《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》和《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：液体甲基丙烯酸酯类》、《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：固体甲基丙烯酸酯类》送审稿的审定，并建议编制组按审查组的意见修改后形成标准报批稿。