高纯电子气体是电子信息产业所需的重要基础材料，在集成电路、平板显示、LED、光伏制造等行业中发挥着重要支撑作用。为扭转我国集成电路制造用高纯电子气体长期依赖进口的局面，为建立我国自主可控的集成电路电路产业链奠定基础，02专项于2013年启动了“高纯电子气体研发与产业化”项目，重点开发集成电路制造过程中的离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等关键工艺用主要特种电子气体，突破电子气体的纯化、净化、高精度分析检测、气体洁净充装等关键技术和高纯混合气体配制系统，生产出满应用要求的电子气体，并逐步替代进口。为加快项目实施，结合当前我国高纯电子气体企业规模小、企业数量多、产品同质化程度高、国外大型气体公司仍占据市场主导地位的局面，集成电路材料产业技术创新战略联盟联合安徽省滁州市人民政府和江苏南大光电材料股份有限公司于5月10日在安徽省滁州市组织召开了“高纯电子材料技术和产业发展高层峰会”。

王曦院士、李爱珍院士、郑有炓院士、北京大学光华管理学院武常岐教授、国家科技部重大专项办公室邱钢处长、安徽省科技厅徐根应厅长、滁州市人民政府张祥安市长等专家和政府领导，国内特气企业负责人、有关基金公司代表等共计100余名代表参加了会议。会上联盟理事长王曦院士、南京大学郑有炓院士分别作了“中国集成电路产业发展机遇与展望”、“Ⅲ族氮化物半导体材料发展现状与展望”的报告。复旦大学张卫教授介绍了集成电路制造中应用的相关电子材料、南大光电副总经理王陆平博士介绍了高纯电子气体在电子产业的应用、中船718所王少波副所长报告了“02专项”气体项目概况及进展。与会代表考察了全椒南大光电材料有限公司特种气体生产基地建设进展情况。

在论坛的圆桌讨论期间，与会专家普遍认为解决我国集成电路生产用特种电子气体的本地化供应问题需要在构建高端人才团队、突破核心关键技术、培育国际化龙头企业、构筑促进高纯电子气体技术开发与产业化发展产业形态等方面形成组合拳。引进海外高层次人才与自我人才培养相结合打造一支具有民族自信和历史使命感的人才团队，依靠这支团队以产品市场化为目标，潜心攻克一系列制约产业发展的核心关键技术并实现产业化。在此基础上通过国内外企业合作与并购重组快速培育龙头企业，并进而发展成为具有国际竞争力的特种电子气体规模化企业，以此为带动构建我国电子制造用特种电子气体本地化供应体系。有专家认为，如果中国企业能够攻克几种关键材料的核心技术，并使其产品的市场占有率达到20％时，就有可能促使电子气体整体产业加速发展。也有专家认为，要使特种电子气体形成良好的产业形态，首先要鼓励有能力的企业家进入该行业，有足够的创业群体才有优胜劣汰的基础；要有适当政策鼓励企业通过并购重组步入成长阶段，国家政策应避免多头投入而延缓并购重组过程；在企业的后续发展中应重视对技术和人才资源的持续投入，为企业向更高层次发展积蓄能量。材料联盟应协助政府组织企业间的交流、促进合作、促成并购；材料联盟还应组织业内企业开展产业发展战略研究，提出产业发展的总体规划、产业布局和体系构建等思路，为企业业务发展提供指导，为国家产业政策和科技计划制订提供支撑。