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集成电路材料产业技术创新联盟团体标准审查会在宁波举行
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集成电路材料产业技术创新联盟团体标准审查会在宁波举行

发布时间:
2020-12-18 02:14
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《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准介绍
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《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准介绍

发布时间:
2020-03-09 11:22
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T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告
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T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告

发布时间:
2020-02-24 15:15
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团体标准立项公告
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团体标准立项公告

发布时间:
2019-06-17 16:48
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各有关单位:经集成电路材料产业技术创新联盟(简称:ICMTIA)标准委员会审查,现决定开展如下6项团体标准的制定工作:2019-10LX-ICMTIA 《集成电路用固体ArF光刻胶单体》2019-11LX-ICMTIA 《集成电路用液体ArF光刻胶单体》2019-12LX-ICMTIA 《集成电路用ArF干式光刻胶》2019-13LX-ICMTIA 《集成电路用ArF浸没式光刻胶》2019-14L