联盟团体标准发布公告（一）
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特色活动
作者：
来源：
ICMtia
2019/04/22 15:09
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【摘要】：
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下2项团体标准：
T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》
T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》
以上标准于2019年4月17日发布，并于2019年10月10日开始实施，特此公告。
附1：《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》目录
附2：《集成电路用过氧化氢》目录
