300mm硅片工艺用Ni及合金靶材
基本信息
公司(检测方)
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型号
所属单位
1、纯度≥99.995%；
2、晶粒≤100um；
3、焊接结合率≥95%；
4、加工精度0.1mm；
5、溅射面粗糙度≤0.4um；
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