福建德尔科技有限公司
基本信息
详细参数
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材料企业
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| 产品分类 | 二级分类 | 产品名称 | 图片介绍 | 生产厂家 | 产品特征 |
| 特种电子气体和前驱体 | 刻蚀用气体 | 六氟化硫SF6 |
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福建德尔科技有限公司 | SF6 Purity>99.9995% O2+Ar<0.5 PPMV, N2<2.0 PPMV, CO2<0.2 PPMV,CH4<0.1 PPMV, CF4<0.1PPMV C2F6<2.0PPMV Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O<1.0PPMV |
| 特种电子气体 和前驱体 | 刻蚀用气体 | 四氟化碳 |
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福建德尔科技有限公司 | CF4 Purity≥99.9997% O2≤0.5 PPMV, N2≤1.0 PPMV, H2≤0.1PPMV CO2≤0.1 PPMV CO≤0.1PPMV,CH4≤0.1 PPMV, CHF3≤0.3PPMV OFC≤0.1PPMV Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O≤1.0PPMV |
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