周明

个人简介：

  周明先生，现任赛迈科先进材料股份有限公司总经理、中国核学会核石墨及碳材料测试与应用分会理事长。长期从事特种石墨及先进碳材料企业经营管理和技术规划等工作，牵头攻关了多个碳材料细分领域的国产化项目；积极促进半导体产业链联合创新，着力推动半导体用特种石墨及先进碳材料技术研发，力争实现半导体产业链的深度融合和协同发展。

演讲摘要：

  本报告将从石墨材料的属性特征、高纯度石墨材料在半导体制造中的应用、PYROCⓇ系列精细石墨在半导体领域的解决方案等方面进行阐述，以期更好地指导和优化用于集成电路产业中石墨和碳材料制品设计和使用。

  报告将从产品设计理念、产品基本功能的选择方面提出对精细石墨产品设计的关键控制点。报告延伸介绍了目前行业的产业化实践情况。

  报告将着重阐述等静压石墨的材料特征，分析了材料的微观、介观、到原子尺度结构。报告解释了石墨材料中的“crazy pave”结构，从间歇碳原子及碳原子空位动力学角度分析材料的失效过程。对如何改进其在半导体制造工艺中的性能表现提出建议，如石墨烯及富勒烯在半导体用碳材料中的应用。

  报告还对如何改进石墨及碳材料在半导体制造中的使用表现提出了建议方案，并对未来产业链的协同发展提出了展望和建议。