各有关单位：经集成电路材料产业技术创新联盟（简称：ICMTIA）标准委员会审查，现决定开展如下6项团体标准的制定工作：2019-10LX-ICMTIA 《集成电路用固体ArF光刻胶单体》2019-11LX-ICMTIA 《集成电路用液体ArF光刻胶单体》2019-12LX-ICMTIA 《集成电路用ArF干式光刻胶》2019-13LX-ICMTIA 《集成电路用ArF浸没式光刻胶》2019-14L
